nEXT400 渦輪分子泵
nEXT400分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵，有ISO160和CF160兩種入口法蘭接口，對(duì)N2的抽速為400l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的軸承技術(shù)，上軸承為永久性磁懸浮軸承，下軸承為油潤(rùn)滑陶瓷軸承，并改進(jìn)轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，使其更加有效地實(shí)現(xiàn)分子拖曳行程，最終提高抽速和壓縮比，同時(shí)真正實(shí)現(xiàn)了用戶(hù)自行維護(hù)。它們采用24V到48V直流無(wú)傳感器電機(jī)，內(nèi)置驅(qū)動(dòng)，與Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種最大預(yù)設(shè)功率可選，前者可使用100W TIC控制器，適用于抽氬氣，但在該功率下達(dá)到滿(mǎn)轉(zhuǎn)速的加速時(shí)間較長(zhǎng)。
基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT400泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級(jí)泵組成。
性能曲線(xiàn)
幾何尺寸
技術(shù)指標(biāo)
| 入口法蘭 | DN160ISO-K，DN160CF |
|---|---|
| 出口法蘭 | KF25 |
| 抽速 | |
| N2 | 400l/s |
| He | 390l/s |
| H2 | 325l/s |
| 壓縮比（D/T） | |
| N2 | >1×1011 |
| He | 1×108/1×108 |
| H2 | 5×105/1×106 |
| 極限真空（ISO/CF，RV前級(jí)泵） | <6×10-8/<5×10-10 mbar |
| 前級(jí)真空要求（D/T） | 10/20 mbar |
| 推薦前級(jí)泵* | RV12/nXDS10i |
| 放氣口/吹掃口 | 1/8英寸BSP母螺紋 |
| 重量（D/T） | 6.5/6.8kg，9.5/9.8kg |
| 最大連續(xù)入口流量（氮?dú)猓? | |
| 水冷 | 105sccm（水溫15°C，環(huán)境溫度40°C） |
| 空冷 | 90sccm（環(huán)境溫度35°C） |
| 泵轉(zhuǎn)速 | |
| 標(biāo)稱(chēng)轉(zhuǎn)速 | 60000rpm |
| 待機(jī)轉(zhuǎn)速 | 33000~60000rpm可調(diào)（缺省42000 rpm） |
| 功率范圍 | 50~200W可調(diào) （缺省160W） |
| 90%啟動(dòng)時(shí)間（D/T） | 175s/200s（160W） |
| 模擬輸出 | 泵轉(zhuǎn)速、功耗、泵溫度、控制溫度 |
| 冷卻方式 | 空冷/水冷（單獨(dú)訂購(gòu)） |
| 空冷環(huán)境溫度 | 5~35°C |
| 最小水冷流速 | 15l/ h（15°C的水） |
| 水溫范圍 | 10~20°C |
| 入口法蘭最高溫度 | 70°C |
| 工作姿態(tài) | 垂直、水平（±2°） |
| 噪聲（1m處） | <45±3 dB(A) |
| 最大耐受磁場(chǎng) | 5mT |
| 推薦控制器 | TIC200渦輪儀表控制器 |
| 穩(wěn)態(tài)功耗 | 20W |
訂貨信息
| 貨號(hào) | 描述 |
|---|---|
| B83200300 | nEXT400D渦輪分子泵：ISO100，160W |
| B83200301 | nEXT400D渦輪分子泵：ISO100，80W |
| B83200400 | nEXT400D渦輪分子泵：CF100，160W |
| B83200401 | nEXT400D渦輪分子泵：CF100，80W |
| B83300300 | nEXT400T渦輪分子泵：HC，ISO100，160W |
| B83300301 | nEXT300T渦輪分子泵：HC，ISO100，80W |
| B83300400 | nEXT400T渦輪分子泵：HC，CF100，160W |
| B83300401 | nEXT400T渦輪分子泵：HC，CF100，80W |
| D39722000 | TIC渦輪儀表控制器：200W、RS232 |
| B58053175 | nEXT徑向風(fēng)扇 |
| B58053170 | nEXT徑向風(fēng)扇，帶泵驅(qū)動(dòng)接頭 |
| B80000815 | nEXT 水冷組件 |
| B80000812 | 油盒工具組件 |
| B80000805 | 軸承工具組件 |
| B80000811 | 油盒 |
| B80000810 | 軸承和油盒 |
